电子半导体行业用3990气溶胶光度计
- 分类：公司新闻
- 发布时间：2025-05-20
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在电子半导体行业，GTI 3990 气溶胶光度计主要用于高效过滤器的完整性检测，以确保生产环境的洁净度符合要求。
由于电子半导体生产对环境洁净度要求极高，哪怕微小颗粒也可能影响产品质量，因此需定期对洁净室、无尘车间等场所的高效过滤器进行检测。使用时，先通过气溶胶发生器在高效过滤器上游释放气溶胶，如 PAO 或 DOP 气溶胶，然后用 GTI 3990 气溶胶光度计测量上游气溶胶浓度并设为基准值。接着，用光度计的扫描探头在过滤器下游距表面不超过 3cm 处，以不超过 5cm/s 的速度往返重叠扫描，覆盖整个下游表面、边缘、边框与格栅结构的密封处等。通过对比上下游气溶胶浓度差异，计算出过滤器的泄漏率，判断是否存在泄漏及泄漏程度，从而及时发现并修复问题，保障生产环境的洁净度，避免颗粒污染对电子半导体产品造成缺陷，提高产品良率和生产稳定性。
由于电子半导体生产对环境洁净度要求极高，哪怕微小颗粒也可能影响产品质量，因此需定期对洁净室、无尘车间等场所的高效过滤器进行检测。使用时，先通过气溶胶发生器在高效过滤器上游释放气溶胶，如 PAO 或 DOP 气溶胶，然后用 GTI 3990 气溶胶光度计测量上游气溶胶浓度并设为基准值。接着，用光度计的扫描探头在过滤器下游距表面不超过 3cm 处，以不超过 5cm/s 的速度往返重叠扫描，覆盖整个下游表面、边缘、边框与格栅结构的密封处等。通过对比上下游气溶胶浓度差异，计算出过滤器的泄漏率，判断是否存在泄漏及泄漏程度，从而及时发现并修复问题，保障生产环境的洁净度，避免颗粒污染对电子半导体产品造成缺陷，提高产品良率和生产稳定性。
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